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真空的基礎(chǔ)知識(shí)
來源:  發(fā)布:2022/8/14 19:52:55

一、真空及真空度的概念

  在真空技術(shù)中,把低于一個(gè)大氣壓的氣體狀態(tài),統(tǒng)稱為真空。與正常的大氣相比,這是     一種較稀薄的氣體狀態(tài)。

  真空中殘存氣體的稀薄程度就是真空程度的高低,即真空度。

 

二、真空度的單位

  依據(jù)真空度的定義,衡量真空度高低最直接的物理量應(yīng)是每單位體積中的分子數(shù),但由于歷史和技術(shù)上的原因,真空度的高低是用被抽空容器中殘存氣體的絕對(duì)壓強(qiáng)來表示的!皦簭(qiáng)”,是指單位面積容器壁上所承受的壓力,它是目前國(guó)際上通用的表示真空度的物理量。1958年第一屆國(guó)際技術(shù)會(huì)議曾建議采用“托”(Torr)作為測(cè)量真空度的單位,定義為“1Torr1個(gè)大氣壓的1/760”,因1個(gè)大氣壓為760mmHg,故Torr可以與mmHg通用。國(guó)際單位制(SI)中規(guī)定壓強(qiáng)的單位為帕(Pa),帕(Pa)是牛頓/2N/m2)的專門名稱。目前,包括我國(guó)在內(nèi)的許多國(guó)家已逐步用Pa取代Torr作為真空壓強(qiáng)的標(biāo)準(zhǔn)基本單位。

  真空度越高,則氣體的壓力越低,爐內(nèi)氣體分子數(shù)目也越少;反之,氣體壓力越高,意味著真空度越低?梢,壓強(qiáng)的大小與真空度的高低成反比。

  在各種文獻(xiàn)中,壓強(qiáng)的單位除了PaTorr外,還有標(biāo)準(zhǔn)大氣壓、bar、kgf/cm2。幾種常見單位之間的換算關(guān)系如下。

      1 Torr = 133.3 Pa

      1 Pa = 7.5×10-3 Torr

      1 Torr = 1 mmHg 柱  

      1 Torr = 1/760 大氣壓

 

三、真空區(qū)域的劃分

  真空區(qū)域的劃分方法很多,目前,我國(guó)將真空區(qū)域劃分為:低真空、中真空、高真空和超高真空。各真空區(qū)域所對(duì)應(yīng)的真空值分別為:

  低 真 空:105 102 Pa  (7601 Torr)

  中 真 空:102 10-1 Pa  (110-3 Torr)

  高 真 空:10-110-5 Pa  (10-310-7 Torr)

  超高真空: ≤10-5 Pa  (10-7 Torr)

 

  在不同的真空區(qū)域內(nèi)分子運(yùn)動(dòng)的物理現(xiàn)象是不同的。離子滲氮是在中低真空中進(jìn)行的,其壓力范圍通常為71000 Pa

 

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